高純氣體管道設計要點主要包括七個方面

信息來源：www.591touzi.com | 發布時間：2020年05月30日

高純氣體管道設計要點主要包括七個方面：湖北高純氣體廠家中原海常年從事高純氣體批發，對此深有心得。

（1）對不同性質的天然氣，要規劃一個獨立的供氣區，一般分為三個區：腐蝕性/有毒性氣體、可燃性氣體、惰性氣體區域，將同一天然氣濃度加強管理和可燃氣體區，以專門規劃爆破墻和滲漏，如果空間不足，可以考慮。放置惰性氣體和有毒腐蝕性氣體區域。

（2）管道設計需要考慮運輸距離，距離越長，成本越高，風險越大，通常設計流量越合理，20 mL/s，可燃氣體小于10 mL/s，有毒/腐蝕性氣體小于8 mL/s，在使用中設計該方面，需要考慮使用對等壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者管徑通常指向使用的1/4“~3/8”。

（3） 根據燃氣設備的分布情況，高純燃氣管網不宜過大或過長，宜采用不封閉的環狀管道，在系統末端連續排放少量燃氣，使管網中始終有高純度氣體循環，不會因“死區”而造成高純度氣體污染。

（4） 應減少不流動氣體在管道中的“死區”，且不應是盲管，在專用儲氣罐和氣體設備之間應設置吹掃閥控制裝置和控制裝置，用于控制吹掃閥的開關順序和系統，以保證供氣系統的安全，可靠運行，防止“死區”滯留污染物形成，降低氣體純度。

（5） 對于高純氣體純度要求不同的氣體設備，宜采用分級高純氣體輸送系統，也可采用同一級輸送系統，但在高純氣體設備附近設置終端氣體凈化裝置。

（6） 為了檢測高純氣體的純度和雜質含量，輸送系統除應配備必要的連續檢測儀器外，如水或氧雜質含量測定儀等，還應設置定期采樣的檢測取樣口，以便在規定的時間取樣，分析高純氣體中各種雜質的含量。

（7） 在亞微米級集成電路生產中，要求提供10-9級高純氣體。為了保證末端氣體處理設備的氣體純度，應提高氣體中的雜質含量

（包括塵粒）控制在規定值內，通常在裝置前設置終端凈化裝置或終端高精度氣體過濾器

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