高純氫中微量烴污染該如何預防呢

信息來源：www.591touzi.com | 發布時間：2021年05月27日

      高純氫氣體廣泛用于電子工業、石油化工、金屬冶煉、國防和科學研究等部門，也可作為配制標準氣體的原料氣和色譜用載氣。高純氣體廠家,高純氣體批發講述隨著科學技術的高速發展，科學實驗和工業產品生產尤其是一些高新科技產品，如超大規模集成電路、光電產品生產中需對氫氣純度及其雜質含量嚴格控制，要求將O2、H2O、HTC(總碳氫化合物)、CO、CO2等雜質純化至10-9-10-12；在有色金屬冶煉和加工，硅鋼、帶鋼、精密合金以及浮法玻璃等生產中都需要使用純度在99.999%左右的氫氣；在氣體工業中需以純氫氣用于氣體分析和氣體精制。目前工業化制取的工業氫氣大部分應經過純化處理后才能滿足各行各業的需要。其中氫氣純化方法主要包括化學吸收法、催化反應法、選擇吸附法、膜分離法。

一、總烴測定的方法原理及定量方法

      在氣相色譜分析檢測過程中，氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求，為達到工作要求，又能延長儀器壽命，所用氣體的純度要達到或略高于儀器自身對氣體純度的要求；否則，若使用不符合要求的低純度氣體，會造成一系列不良影響。此外，在硅外延工藝中，氫氣與四氯化硅或三氯氫硅在加熱的硅襯底表面發生反應，還原出硅沉積到硅襯底上，生成外延層。上述過程中對氫氣的純度要求很高。如果含有過高的碳氫化合物，則會生成碳化硅，引起外延層中星形缺陷。因此要對高純氫中所含的總烴進行有針對性的監測。

1、方法和原理

      我國國家標準推薦的氣體中總烴的測定方法為氫火焰離子化法，目前絕大多數的實驗室均采用此法。該方法的工作原理：樣品進入離子化室后，在氫火焰的高溫作用下電離產生陽離子，由于離子數與被測組分含量成正比，從而可確定其含量，由工作站（或記錄儀）記錄下相應組分的色譜峰。
2、定量方法

      總烴在火焰離子化檢測器上的響應信號為多種碳氫化合物的信號總和，到目前為止，除了食品級二氧化碳的國家標準中規定總烴以甲烷計，其它氣體中總烴定量沒有統一基準，在此也采用甲烷為基準物，分析結果以甲烷計。

      氫氣是易燃壓縮氣體。儲存于陰涼、通風的倉間內。倉內溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與氧氣、壓縮空氣、鹵素（氟、氯、溴）、氧化劑等分開存放。切忌混儲混運。儲存間內的照明、通風等設施應采用防爆型，開關設在倉外，配備相應品種和數量的消防器材。禁止使用易產生火花的機械設備工具。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，進倉的先發用。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。

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